Der Zielwert der relativen Luftfeuchtigkeit in einem Halbleiter-Reinraum (FAB).

Der Zielwert der relativen Luftfeuchtigkeit in einem Halbleiter-Reinraum (FAB) liegt bei etwa 30 bis 50 %, was eine geringe Fehlertoleranz von ±1 % ermöglicht, beispielsweise in der Lithographiezone – oder noch weniger in der Fern-Ultraviolett-Verarbeitung (DUV). Zone – während es anderswo auf ±5 % gelockert werden kann.
Denn die relative Luftfeuchtigkeit hat eine Reihe von Faktoren, die die Gesamtleistung von Reinräumen beeinträchtigen können, darunter:
1. Bakterienwachstum;
2. Komfortbereich der Raumtemperatur für das Personal;
3. Es tritt elektrostatische Aufladung auf;
4. Metallkorrosion;
5. Wasserdampfkondensation;
6. Verschlechterung der Lithographie;
7. Wasseraufnahme.

Bakterien und andere biologische Schadstoffe (Schimmelpilze, Viren, Pilze, Milben) können in Umgebungen mit einer relativen Luftfeuchtigkeit von mehr als 60 % gedeihen. Einige Bakteriengemeinschaften können bei einer relativen Luftfeuchtigkeit von mehr als 30 % wachsen. Das Unternehmen ist der Ansicht, dass die Luftfeuchtigkeit im Bereich von 40 bis 60 % kontrolliert werden sollte, um die Auswirkungen von Bakterien und Atemwegsinfektionen zu minimieren.

Eine relative Luftfeuchtigkeit im Bereich von 40 % bis 60 % ist ebenfalls ein gemäßigter Bereich für das menschliche Wohlbefinden. Zu viel Luftfeuchtigkeit kann dazu führen, dass sich Menschen stickig fühlen, während eine Luftfeuchtigkeit unter 30 % zu trockener, rissiger Haut, Atembeschwerden und emotionaler Unzufriedenheit führen kann.

Die hohe Luftfeuchtigkeit reduziert tatsächlich die Ansammlung elektrostatischer Aufladungen auf der Reinraumoberfläche – ein gewünschtes Ergebnis. Niedrige Luftfeuchtigkeit ist ideal für die Ansammlung von Ladungen und eine potenziell schädliche Quelle elektrostatischer Entladung. Wenn die relative Luftfeuchtigkeit 50 % übersteigt, beginnen sich die elektrostatischen Ladungen schnell aufzulösen, wenn die relative Luftfeuchtigkeit jedoch weniger als 30 % beträgt, können sie auf einem Isolator oder einer nicht geerdeten Oberfläche lange Zeit bestehen bleiben.

Als zufriedenstellender Kompromiss kann eine relative Luftfeuchtigkeit zwischen 35 % und 40 % verwendet werden, und in Halbleiter-Reinräumen werden im Allgemeinen zusätzliche Kontrollen eingesetzt, um die Ansammlung elektrostatischer Ladungen zu begrenzen.

Die Geschwindigkeit vieler chemischer Reaktionen, einschließlich Korrosionsprozessen, nimmt mit zunehmender relativer Luftfeuchtigkeit zu. Alle der Luft ausgesetzten Oberflächen rund um den Reinraum sind schnell.