Anforderungen an die Windgeschwindigkeit und den Luftwechsel im Reinraum

Ausreichendes Belüftungsvolumen dient dazu, verschmutzte Luft in Innenräumen zu verdünnen und zu beseitigen, je nach den unterschiedlichen Sauberkeitsanforderungen, wenn dieReinraumBei höherer Netzhöhe erhöht sich die Anzahl der Luftwechsel entsprechend. Das Belüftungsvolumen von 1 Million Reinräumen wird dabei nach dem hocheffizienten Reinigungssystem [7] berechnet, die übrigen nach dem hocheffizienten Reinigungssystem. Durch die zentrale Anordnung des HEPA-Filters der 100.000er-Klasse im Maschinenraum oder am Ende des Systems kann die Anzahl der Luftwechsel um 10–20 % erhöht werden.

Für den oben empfohlenen Wert des Belüftungsvolumens glaubt der Autor, dass die Windgeschwindigkeit durch den Raumabschnitt der unidirektionalenDurchfluss-Reinraumist niedrig, und für Reinräume werden Turbulenzen mit einem höheren Sicherheitsfaktor empfohlen. Vertikale, unidirektionale Strömung ≥ 0,25 m/s, horizontale, unidirektionale Strömung ≥ 0,35 m/s. Im leeren Zustand oder bei statischer Sauberkeitserkennung können die Anforderungen zwar erfüllt werden, die Fähigkeit zur Verschmutzungsbekämpfung ist jedoch unzureichend. Sobald der Innenraum in den Betriebszustand versetzt wird, entspricht die Sauberkeit möglicherweise nicht mehr den Anforderungen. Solche Beispiele sind nicht individuell. Gleichzeitig sind Ventilatoren der chinesischen Serie bisher nicht besser für das Reinigungssystem geeignet. Der Konstrukteur berechnet den Luftwiderstand des Systems häufig nicht genau oder achtet nicht darauf, ob sich der ausgewählte Ventilator in der Kennlinie des günstigeren Betriebspunkts befindet. Daher können Luftmenge oder Windgeschwindigkeit kurz nach der Inbetriebnahme des Systems nicht den Auslegungswert erreichen. Der US-Bundesstandard (FS209A–B) wurde vor dem 27. Oktober 1987 wie folgt festgelegt: Die Luftströmungsgeschwindigkeit eines unidirektionalen Reinraums beträgt üblicherweise 0,45 m/s (9 ft/min). Sofern es im gesamten Raum keine Störungen gibt, liegt die Geschwindigkeitsgleichmäßigkeit innerhalb von ±20 %. Jede signifikante Verringerung der Luftströmungsgeschwindigkeit erhöht die Wahrscheinlichkeit von Kontaminationseffekten zwischen der Selbstreinigungszeit und der Arbeitsposition (alle Parameter außer der Staubkonzentration wurden nach der Veröffentlichung von FS209C im Oktober 1987 nicht mehr spezifiziert).

Zu diesem Zweck hält der Autor es für angebracht, den aktuellen inländischen Auslegungswert der unidirektionalen Strömungsgeschwindigkeit entsprechend zu erhöhen. Wenn unsere Einheit dies im tatsächlichen Projekt tut, ist die Wirkung besser. Der Reinraum des Turbulenztyps ist ein empfohlener Wert mit einem höheren Sicherheitsfaktor. Viele Designer sind sich jedoch immer noch nicht sicher, ob bei der Umsetzung des spezifischen Entwurfs das Belüftungsvolumen des Reinraums der Stufe 100.000 auf das 20- bis 25-fache pro Stunde, das der Stufe 10.000 auf das 30- bis 40-fache pro Stunde und das der Stufe 1000 auf das 60- bis 70-fache pro Stunde erhöht wird. Dies erhöht nicht nur die Gerätekapazität und die Anfangsinvestition. Es erhöht auch die Kosten für zukünftige Wartung und Verwaltung, und das ist nicht notwendig. Im Zuge der Entwicklung technischer Maßnahmen zur Luftreinigung in China [7] wurden über 100 Reinräume im Inland untersucht und vermessen. Viele Reinräume wurden zudem unter dynamischen Bedingungen getestet. Die Ergebnisse zeigten, dass Lüftungsvolumina von 100.000 l/h ≥ 10-mal, 10.000 l/h ≥ 20-mal und 1.000 l/h ≥ 50-mal die Anforderungen erfüllen konnten. Der US-amerikanische Bundesstandard (FS2O9A–B) schreibt vor, dass in Reinräumen mit nicht-unidirektionaler Luftströmung (Klasse 100.000, Klasse 10.000) und einer Raumhöhe von 2,44–3,66 m (8–12 Fuß) der gesamte Raum in der Regel mindestens einmal alle drei Minuten (also 20-mal pro Stunde) gelüftet werden muss. Daher berücksichtigen die Bestimmungen der Entwurfsspezifikation [6] den höheren Luftstromkoeffizienten, und der Planer kann seine Wahl sicher anhand der empfohlenen Lüftungsvolumina treffen.