Anforderungen an die Windgeschwindigkeit und den Luftwechsel im Reinraum

Ausreichendes Belüftungsvolumen dient zur Verdünnung und Beseitigung verschmutzter Luft in Innenräumen, entsprechend den unterschiedlichen Sauberkeitsanforderungen, wenn dieReinraumJe höher die Nettohöhe, desto höher ist auch die Anzahl der Luftwechsel. Darunter wird das Lüftungsvolumen von 1 Million Reinräumen gemäß dem hocheffizienten Reinigungssystem [7] berücksichtigt, und der Rest wird gemäß dem hocheffizienten Reinigungssystem berücksichtigt. Wenn der Reinraum-HEPA-Filter der Klasse 100.000 zentral im Maschinenraum oder am Ende der Anlage angeordnet ist, kann die Anzahl der Luftwechsel entsprechend um 10–20 % erhöht werden.

Für den oben empfohlenen Wert des Lüftungsvolumens geht der Autor davon aus, dass die Windgeschwindigkeit durch den Raumabschnitt unidirektional istDurchfluss Reinraumist niedrig und der Turbulenz-Reinraum ist der empfohlene Wert mit einem größeren Sicherheitsfaktor. Vertikaler unidirektionaler Fluss ≥0,25 m/s, horizontaler unidirektionaler Fluss ≥0,35 m/s, im leeren Zustand oder statische Sauberkeitserkennung, obwohl die Anforderungen erfüllt werden können, aber die Antiverschmutzungsfähigkeit schlecht ist, sobald der Innenraum in den Betriebszustand übergeht , Sauberkeit entspricht möglicherweise nicht den Anforderungen, solche Beispiele sind nicht individuell; Gleichzeitig ist Chinas Ventilatorserie noch nicht besser für das Reinigungssystem des Ventilators geeignet, der Generalkonstrukteur berechnet den Luftwiderstand des Systems oft nicht genau oder achtet nicht darauf, ob der ausgewählte Ventilator in der Luft ist Kennlinie des günstigeren Arbeitspunkts, so dass die Anlage kurz danach in Betrieb genommen wird, die Luftmenge bzw. Windgeschwindigkeit den Auslegungswert nicht erreichen kann. Der Bundesstandard der Vereinigten Staaten (FS209A~B) wurde vor dem 27. Oktober 1987 so festgelegt: Die Luftströmungsgeschwindigkeit eines unidirektionalen Reinraums durch den Reinraumabschnitt wird normalerweise bei 9Oft/min (0,45 m/s) und unter der Bedingung gehalten Da im gesamten Raum keine Störungen auftreten, liegt die Geschwindigkeitsgleichmäßigkeit innerhalb von ±20 %. Jede signifikante Abnahme der Luftströmungsgeschwindigkeit erhöht die Wahrscheinlichkeit von Kontaminationseffekten zwischen der Selbstreinigungszeit und der Arbeitsposition (alle Parameter außer der Staubkonzentration werden nach der Veröffentlichung von FS209C im Oktober 1987 nicht mehr spezifiziert).

Zu diesem Zweck ist der Autor der Ansicht, dass es angemessen ist, den derzeitigen inländischen Designwert der unidirektionalen Strömungsgeschwindigkeit angemessen zu erhöhen, sodass unsere Einheit im tatsächlichen Projekt dies tun kann, wodurch die Wirkung besser ist. Der Reinraum vom Turbulenztyp ist ein empfohlener Wert mit einem größeren Sicherheitsfaktor, aber viele Designer sind sich immer noch nicht sicher, dass bei der Durchführung des spezifischen Entwurfs das Belüftungsvolumen des Reinraums mit 100.000 Stufen auf das 20- bis 25-fache pro Stunde erhöht wird, was der Stufe 10.000 entspricht auf 30 bis 40 Mal pro Stunde erhöht, und die 1000-Ebene wird auf 60 bis 70 Mal pro Stunde erhöht, was nicht nur die Gerätekapazität erhöht, sondern auch die Anfangsinvestition erhöht. Es erhöht auch die Kosten für die zukünftige Wartung und Verwaltung, und dies ist nicht erforderlich. Bei der Vorbereitung der technischen Luftreinigungsmaßnahmen in China [7] wurden mehr als 100 häusliche Reinräume untersucht und gemessen, und viele Reinräume wurden noch unter dynamischen Bedingungen getestet, und die Ergebnisse zeigten, dass das Lüftungsvolumen von 100.000 Grad ≥10 mal /h, 10.000 Sorten ≥20 Mal/h und 1000 Sorten ≥50 Mal/h könnten die Anforderungen erfüllen. Der Bundesstandard der Vereinigten Staaten (FS2O9A~B) schreibt vor, dass Reinräume mit nicht unidirektionaler Strömung (100.000-Klasse, 10.000-Klasse), Raumhöhe 8~12ft (2,44~3,66m), normalerweise mindestens alle 3 Minuten den gesamten Raum berücksichtigen ( also 20 mal /h). Daher wurde in den Bestimmungen der Designspezifikation [6] der größere Wohlstandskoeffizient berücksichtigt, und der Designer kann sicher entsprechend dem empfohlenen Wert des Lüftungsvolumens wählen.