In den USA wurde bis Ende November 2001 der Bundesstandard 209E (FED-STD-209E) zur Definition der Anforderungen an Reinräume verwendet. Am 29. November 2001 wurden diese Standards durch die Veröffentlichung der ISO-Spezifikation 14644-1 ersetzt. Ein Reinraum, der für die Produktion oder wissenschaftliche Forschung verwendet wird, ist typischerweise eine kontrollierte Umgebung mit geringen Schadstoffwerten wie Staub, luftgetragenen Mikroben, Aerosolpartikeln und chemischen Dämpfen. Genauer gesagt hat der Reinraum einen kontrollierten Verschmutzungsgrad, der durch die Anzahl der Partikel pro Kubikmeter bei einer bestimmten Partikelgröße angegeben wird. In einer typischen städtischen Umgebung enthält die Außenluft 35 Millionen Partikel pro Kubikmeter mit einem Durchmesser von 0,5 Mikrometern oder mehr, was einem Reinraum der ISO-Klasse 9 auf der niedrigsten Stufe des Reinraumstandards entspricht. Reinräume werden nach der Sauberkeit der Luft klassifiziert. Im US-amerikanischen Federal Standard 209 (A bis D) wird die Anzahl der Partikel ab 0,5 mm in 1 Kubikfuß Luft gemessen und diese Zahl wird zur Klassifizierung von Reinräumen verwendet. Diese metrische Nomenklatur wird auch von der neuesten Version 209E des Standards akzeptiert. China verwendet den Federal Standard 209E. Der neuere Standard ist TC 209 der International Standards Organization. Beide Standards klassifizieren Reinräume auf Grundlage der Partikelanzahl in der Laborluft. Die Reinraumklassifizierungsstandards FS 209E und ISO 14644-1 erfordern spezifische Messungen und Berechnungen der Partikelanzahl, um den Reinheitsgrad eines Reinraums oder Reinbereichs zu klassifizieren. Im Vereinigten Königreich wird der British Standard 5295 zur Klassifizierung von Reinräumen verwendet. Dieser Standard wird in Kürze durch BS EN ISO 14644-1 ersetzt. Reinräume werden nach der Anzahl und Größe der zulässigen Partikel pro Luftvolumen klassifiziert. Große Zahlen wie „Klasse 100“ oder „Klasse 1000“ beziehen sich auf FED_STD209E und stellen die Anzahl der Partikel mit einer Größe von 0,5 mm oder mehr dar, die pro Kubikfuß Luft zulässig sind.

Veröffentlichungszeit: 18. Januar 2024