Reinraumstandardisierung

In den Vereinigten Staaten wurde bis Ende November 2001 die Bundesnorm 209E (FED-STD-209E) verwendet, um Anforderungen an Reinräume zu definieren. Am 29. November 2001 wurden diese Standards durch die Veröffentlichung der ISO-Spezifikation 14644-1 ersetzt. Typischerweise handelt es sich bei einem Reinraum, der für die Fertigung oder wissenschaftliche Forschung genutzt wird, um eine kontrollierte Umgebung mit geringen Mengen an Verunreinigungen wie Staub, Mikroben in der Luft, Aerosolpartikeln und chemischen Dämpfen. Genauer gesagt verfügt der Reinraum über einen kontrollierten Verschmutzungsgrad, der durch die Anzahl der Partikel pro Kubikmeter bei einer bestimmten Partikelgröße angegeben wird. In einer typischen städtischen Umgebung enthält die Außenluft 35 Millionen Partikel pro Kubikmeter mit einem Durchmesser von 0,5 Mikrometern oder mehr, was einem Reinraum der ISO-9-Klasse auf der niedrigsten Stufe der Reinraumnorm entspricht. Reinräume werden nach der Reinheit der Luft klassifiziert. Im US Federal Standard 209 (A bis D) wird die Anzahl der Partikel, die 0,5 mm oder mehr betragen, in 1 Kubikfuß Luft gemessen und diese Zahl wird zur Klassifizierung von Reinräumen verwendet. Diese metrische Nomenklatur wird auch von der neuesten 209E-Version des Standards akzeptiert. China verwendet den Bundesstandard 209E. Der neuere Standard ist der TC 209 der International Standards Organization. Beide Standards klassifizieren Reinräume anhand der Anzahl der Partikel in der Laborluft. Die Reinraumklassifizierungsnormen FS 209E und ISO 14644-1 erfordern spezifische Messungen und Berechnungen der Partikelanzahl, um den Reinheitsgrad eines Reinraums oder Reinbereichs zu klassifizieren. Im Vereinigten Königreich wird der britische Standard 5295 zur Klassifizierung von Reinräumen verwendet. Diese Norm wird bald durch BS EN ISO 14644-1 ersetzt. Reinräume werden nach der Anzahl und Größe der pro Luftvolumen zulässigen Partikel klassifiziert. Große Zahlen wie „Klasse 100“ oder „Klasse 1000“ beziehen sich auf FED_STD209E und geben die Anzahl der pro Kubikfuß Luft zulässigen Partikel mit einer Größe von 0,5 mm oder mehr an.