Halbleiter

BSLtech Halbleiterlösung

Um Ihr Fachwissen in der Halbleiterindustrie weiterzuentwickeln, sind häufig Reinräume oder Laminar-Flow-Schränke mit einer hohen ISO-Klasse (ISO 5 oder höher) erforderlich. Beschäftigen Sie sich mit UV-empfindlichen Prozessen? Auch dann liefert BSL den passenden Reinraum. Die Reinräume verfügen über einen hochwertigen Wandbelag und eine Beleuchtung mit UV-Filter. Durch den Einsatz antistatischer (ESD) Materialien und Antistatikstäbe am Filtersystem wird die statische Ladung in der Luft neutralisiert.

Wenn eine Entgasung nicht erwünscht ist, bietet BSL einen Reinraum aus nicht ausgasenden Materialien (PU) an. Diese Technologie hat ihren Ursprung in der Luft- und Raumfahrtindustrie.

Typische Prozesse in der Halbleiterindustrie:

● Schutz von Substraten und Siliziumwafern
● EUV-Forschung
● Masken-Aligner
● Vakuumbeschichtung, Dünnfilmabscheidung
● Druckanwendungen
● Optik

Front-End- und Backend-Prozesse