Halbleiter

BSLtech Halbleiterlösung

Für den Ausbau Ihrer Expertise in der Halbleiterindustrie benötigen Sie häufig Reinräume oder Laminar-Flow-Werkbänke mit einer hohen ISO-Klasse (ISO 5 oder höher). Arbeiten Sie mit UV-empfindlichen Prozessen? Auch dann liefert BSL den passenden Reinraum. Die Reinräume verfügen über eine hochwertige Wandverkleidung und eine Beleuchtung mit UV-Filter. Durch den Einsatz antistatischer (ESD) Materialien und Ionensprühstäbe am Filtersystem wird die statische Aufladung der Luft neutralisiert.

Wenn keine Entgasung gewünscht ist, bietet BSL einen Reinraum aus nicht ausgasenden Materialien (PU) an. Diese Technologie stammt ursprünglich aus der Luft- und Raumfahrtindustrie.

Typische Prozesse in der Halbleiterindustrie:

● Schutz von Substraten und Silizium-Wafern
● EUV-Forschung
● Masken-Aligner
● Vakuumbeschichtung, Dünnschichtabscheidung
● Druckanwendungen
● Optik

Front-End- und Back-End-Prozesse